Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
NORM herausgegeben am 1.6.2015
Bezeichnung normen: ČSN EN ISO 25178-603
Zeichen: 014451
Katalog-Nummer: 96307
Ausgabedatum normen: 1.6.2015
Zahl der Seiten: 40
Gewicht ca.: 120 g (0.26 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Tato část ISO 25178 popisuje metrologické charakteristiky interferometrického fázového posunu (PSI) a mikroskopů měřicích texturu povrchu plochy