Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices
NORM herausgegeben am 1.10.2017
Bezeichnung normen: ČSN IEC 62047-28
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 503432
Ausgabedatum normen: 1.10.2017
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Tato norma specifikuje termíny a definice a provozní zkoušku pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii za účelem stanovení charakteristických parametrů pro spotřebitelské, průmyslové a jiné aplikace. Norma se týká vibracemi buzených elektretových součástek získávající energii, jejichž elektrody jsou vzdáleny méně než 1 000 µm a jsou pokryty dielektrickým materiálem se zachycenými náboji a jsou vyrobeny pomocí procesů MEMS jako je leptání, fotolitografie nebo depozice