Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology.
NORM herausgegeben am 1.5.2004
Bezeichnung normen: DIN 32564-1:2004-05
Ausgabedatum normen: 1.5.2004
Zahl der Seiten: 6
Gewicht ca.: 18 g (0.04 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik.