Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production.
NORM herausgegeben am 1.5.2004
Designation standards: DIN 32564-2:2004-05
Publication date standards: 1.5.2004
The number of pages: 5
Approximate weight : 15 g (0.03 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 2: Basistechnologien und Herstellung.