Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production.
NORM herausgegeben am 1.5.2004
Bezeichnung normen: DIN 32564-2:2004-05
Ausgabedatum normen: 1.5.2004
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 2: Basistechnologien und Herstellung.