NORMSERVIS s.r.o.

DIN 32566:2007-12

Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring.

NORM herausgegeben am 1.12.2007

Deutsch -
PDF - sofortiges Download (54.50 EUR)
Deutsch -
Gedruckt (67.70 EUR)

The information about the standard:

Designation standards: DIN 32566:2007-12
Publication date standards: 1.12.2007
The number of pages: 9
Approximate weight : 27 g (0.06 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN

Annotation of standard text DIN 32566:2007-12 :

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie.