Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 1: Qualitative estimation of the material and procedure specific influences.
NORM herausgegeben am 1.6.2015
Designation standards: DIN 32567-1:2015-06
Publication date standards: 1.6.2015
The number of pages: 19
Approximate weight : 57 g (0.13 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse.