Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices.
NORM herausgegeben am 1.5.2025
Designation standards: DIN 32567-3:2025-05
Publication date standards: 1.5.2025
The number of pages: 31
Approximate weight : 93 g (0.21 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte.