DIN 32567-4:2015-06

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures.

NORM herausgegeben am 1.6.2015

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The information about the standard:

Designation standards: DIN 32567-4:2015-06
Publication date standards: 1.6.2015
The number of pages: 13
Approximate weight : 39 g (0.09 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN

Annotation of standard text DIN 32567-4:2015-06 :

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prüfkörper für optische Verfahren.