Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell.
NORM herausgegeben am 1.8.1987
Bezeichnung normen: DIN 50450-1:1987-08
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.8.1987
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Wasserverunreinigung in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mittels einer Diphosphorpentoxidzelle.