Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 2: Determination of Oxygen impurities in Nitrogen, Argon, Helium, Neon and Hydrogen using a galvanic cell.
NORM herausgegeben am 1.3.2026
Bezeichnung normen: DIN 50450-2:2026-03
Ausgabedatum normen: 1.3.2026
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle.