Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H2, O2, N2, Ar and He by using a flame ionization detector (FID).
NORM herausgegeben am 1.3.1991
Bezeichnung normen: DIN 50450-3:1991-03
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.3.1991
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID).