Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C1-C3-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography.
NORM herausgegeben am 1.9.1993
Bezeichnung normen: DIN 50450-4:1993-09
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.9.1993
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie.