Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C1-C3-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography.
NORM herausgegeben am 1.4.2003
Bezeichnung normen: DIN 50450-9:2003-04
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.4.2003
Zahl der Seiten: 5
Gewicht ca.: 15 g (0.03 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger - und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie.