Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C1-C3-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography.
NORM herausgegeben am 1.7.2021
Designation standards: DIN 50450-9:2021-07
Publication date standards: 1.7.2021
The number of pages: 8
Approximate weight : 24 g (0.05 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie.