
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 2: Calcium (Ca), cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), Iron (Fe), nickel (Ni) and zinc (Zn) in hydrofluoric acid with plasma-induced emission spectroscopy.
NORM herausgegeben am 1.4.2003
Bezeichnung normen: DIN 50451-2:2003-04
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.4.2003
Zahl der Seiten: 8
Gewicht ca.: 24 g (0.05 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 2: Calcium (Ca), Cobalt (Co), Chrom (Cr), Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Nickel (Ni) und Zink (Zn) in Flusssäure mittels Plasma-angeregter Emissionsspektrometrie.