DIN 50451-3:2003-04

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Aluminium (Al), cobalt (Co), copper (Cu), sodium (Na), nickel (Ni) and zinc (Zn) in nitric acid by ICP-MS.

NORM herausgegeben am 1.4.2003

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: DIN 50451-3:2003-04
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.4.2003
Zahl der Seiten: 8
Gewicht ca.: 24 g (0.05 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes DIN 50451-3:2003-04 :

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 3: Aluminium (Al), Cobalt (Co), Kupfer (Cu), Natrium (Na), Nickel (Ni) und Zink (Zn) in Salpetersäure mittels ICP-MS.