DIN 50451-4:2007-02

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS).

NORM herausgegeben am 1.2.2007

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The information about the standard:

Designation standards: DIN 50451-4:2007-02
Note: UNGÜLTIG
Publication date standards: 1.2.2007
The number of pages: 13
Approximate weight : 39 g (0.09 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN

Annotation of standard text DIN 50451-4:2007-02 :

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 4: Bestimmung von 34 Elementen in hochreinem Wasser durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS).