Testing of materials for semiconductor technology - Methods for characterizing photoresists - Part 1: Determination of coating thickness with optical methods.
NORM herausgegeben am 1.10.2009
Designation standards: DIN 50455-1:2009-10
Publication date standards: 1.10.2009
The number of pages: 8
Approximate weight : 24 g (0.05 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken - Teil 1: Bestimmung der Schichtdicke mit optischen Messverfahren.