DIN 32566:2007-12

Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring.

NORM herausgegeben am 1.12.2007

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: DIN 32566:2007-12
Ausgabedatum normen: 1.12.2007
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes DIN 32566:2007-12 :

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie.