Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N2, Ar, He, Ne and H2 by using a galvanic cell.
NORM herausgegeben am 1.3.1991
Designation standards: DIN 50450-2:1991-03
Publication date standards: 1.3.1991
The number of pages: 2
Approximate weight : 6 g (0.01 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle.