Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORM herausgegeben am 1.10.2006
Bezeichnung normen: DIN EN 62047-1:2006-10
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.10.2006
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe und Definitionen.