Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORM herausgegeben am 1.12.2016
Bezeichnung normen: DIN EN 62047-1:2016-12
Ausgabedatum normen: 1.12.2016
Zahl der Seiten: 37
Gewicht ca.: 111 g (0.24 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe.