DIN EN 62047-14:2012-10

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials.

NORM herausgegeben am 1.10.2012

Deutsch -
PDF - sofortiges Download (95.40 EUR)

Deutsch -

Gedruckt (118.70 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: DIN EN 62047-14:2012-10
Ausgabedatum normen: 1.10.2012
Zahl der Seiten: 20
Gewicht ca.: 60 g (0.13 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes DIN EN 62047-14:2012-10 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe.