Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass.
NORM herausgegeben am 1.1.2016
Bezeichnung normen: DIN EN 62047-15:2016-01
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.1.2016
Zahl der Seiten: 13
Gewicht ca.: 39 g (0.09 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 15: Prüfverfahren zur Bondqualität zwischen PDMS und Glas.