DIN EN 62047-17:2015-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films.

NORM herausgegeben am 1.12.2015

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: DIN EN 62047-17:2015-12
Ausgabedatum normen: 1.12.2015
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes DIN EN 62047-17:2015-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.