DIN EN 62047-2:2007-02

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials.

NORM herausgegeben am 1.2.2007

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: DIN EN 62047-2:2007-02
Ausgabedatum normen: 1.2.2007
Zahl der Seiten: 14
Gewicht ca.: 42 g (0.09 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes DIN EN 62047-2:2007-02 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen.