DIN EN 62047-26:2016-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.

NORM herausgegeben am 1.12.2016

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: DIN EN 62047-26:2016-12
Ausgabedatum normen: 1.12.2016
Zahl der Seiten: 29
Gewicht ca.: 87 g (0.19 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes DIN EN 62047-26:2016-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.