Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing.
NORM herausgegeben am 1.2.2007
Bezeichnung normen: DIN EN 62047-3:2007-02
Ausgabedatum normen: 1.2.2007
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung.