DIN EN 62047-4:2011-03

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS.

NORM herausgegeben am 1.3.2011

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: DIN EN 62047-4:2011-03
Ausgabedatum normen: 1.3.2011
Zahl der Seiten: 22
Gewicht ca.: 66 g (0.15 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes DIN EN 62047-4:2011-03 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik.