
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches.
NORM herausgegeben am 1.3.2012
Bezeichnung normen: DIN EN 62047-5:2012-03
Ausgabedatum normen: 1.3.2012
Zahl der Seiten: 37
Gewicht ca.: 111 g (0.24 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter.