DIN EN 62047-8:2011-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films.

NORM herausgegeben am 1.12.2011

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: DIN EN 62047-8:2011-12
Ausgabedatum normen: 1.12.2011
Zahl der Seiten: 20
Gewicht ca.: 60 g (0.13 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes DIN EN 62047-8:2011-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 8: Streifen-Biege-Prüfverfahren zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen dünner Schichten.