Semiconductor devices - Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) test for gate dielectric films.
NORM herausgegeben am 1.2.2008
Bezeichnung normen: DIN EN 62374:2008-02
Ausgabedatum normen: 1.2.2008
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Prüfung des zeitabhängigen dielektrischen Durchbruchs (TDDB) für dielektrische Gate-Schichten.