Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORM herausgegeben am 1.10.2006
Designation standards: DIN EN 62047-1:2006-10
Note: UNGÜLTIG
Publication date standards: 1.10.2006
The number of pages: 28
Approximate weight : 84 g (0.19 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe und Definitionen.