Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORM herausgegeben am 1.12.2016
Designation standards: DIN EN 62047-1:2016-12
Publication date standards: 1.12.2016
The number of pages: 37
Approximate weight : 111 g (0.24 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe.