Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.<
NORM herausgegeben am 1.4.2015
Designation standards: DIN EN 62047-21:2015-04
Publication date standards: 1.4.2015
The number of pages: 16
Approximate weight : 48 g (0.11 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik.