Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary.
NORM herausgegeben am 1.10.2007
Bezeichnung normen: DIN EN ISO 14644-6:2007-10
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.10.2007
Zahl der Seiten: 59
Gewicht ca.: 177 g (0.39 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 6: Terminologie.