Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N2, Ar, He, Ne and H2 by using a galvanic cell.
NORM herausgegeben am 1.12.1989
Bezeichnung normen: E DIN 50450-2:1989-12
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.12.1989
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle.