E DIN EN 62047-14:2010-10

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials.

NORM herausgegeben am 1.10.2010

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-14:2010-10
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.10.2010
Zahl der Seiten: 29
Gewicht ca.: 87 g (0.19 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes E DIN EN 62047-14:2010-10 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe.