
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding quality between PDMS and glass.
NORM herausgegeben am 1.11.2012
    
        Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-15:2012-11
                
                
                
                Anmerkung:    UNGÜLTIG
               
                Ausgabedatum normen:  1.11.2012
        Zahl der Seiten: 19
Gewicht ca.: 57 g (0.13 Pfund)
        Land:          Deutsche technische Norm
        Kategorie: Technische Normen DIN
        
                
              
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 15: Prüfverfahren zur Bondqualität zwischen PDMS und Glas.