E DIN EN 62047-21:2012-11

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.<

NORM herausgegeben am 1.11.2012

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-21:2012-11
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.11.2012
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes E DIN EN 62047-21:2012-11 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosytsemtechnik.