E DIN EN 62047-26:2014-05

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.

NORM herausgegeben am 1.5.2014

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-26:2014-05
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2014
Zahl der Seiten: 53
Gewicht ca.: 159 g (0.35 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes E DIN EN 62047-26:2014-05 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.