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E DIN EN 62047-28:2015-09

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices.

NORM herausgegeben am 1.9.2015

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-28:2015-09
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.9.2015
Zahl der Seiten: 27
Gewicht ca.: 81 g (0.18 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes E DIN EN 62047-28:2015-09 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 28: Prüfverfahren der Funktionsfähigkeit für schwingungsbasierte MEMS-Elektret-Bauelemente zum Energy-Harvesting.