Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices.
NORM herausgegeben am 1.9.2015
Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-28:2015-09
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.9.2015
Zahl der Seiten: 27
Gewicht ca.: 81 g (0.18 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 28: Prüfverfahren der Funktionsfähigkeit für schwingungsbasierte MEMS-Elektret-Bauelemente zum Energy-Harvesting.