Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film.
NORM herausgegeben am 1.8.2016
Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-30:2016-08
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.8.2016
Zahl der Seiten: 34
Gewicht ca.: 102 g (0.22 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 30: Messverfahren für Kenngrößen der elektromechanischen Energiewandlung bei piezoelektrischen MEMS-Dünnschichten.