Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding quality between PDMS and glass.
NORM herausgegeben am 1.11.2012
Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-15:2012-11
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.11.2012
Zahl der Seiten: 19
Gewicht ca.: 57 g (0.13 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 15: Prüfverfahren zur Bondqualität zwischen PDMS und Glas.