Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film.
NORM herausgegeben am 1.6.2011
Designation standards: E DIN EN 62047-17:2011-06
Note: UNGÜLTIG
Publication date standards: 1.6.2011
The number of pages: 45
Approximate weight : 135 g (0.30 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.