Semiconductor devices - Part 1: Microelectromechanical devices; Terms and definitions.
NORM herausgegeben am 1.10.2003
Designation standards: E DIN IEC 62047-1:2003-10
Note: UNGÜLTIG
Publication date standards: 1.10.2003
The number of pages: 37
Approximate weight : 111 g (0.24 lbs)
Country: German technical standard
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Teil 1: Bauteile der Mikrosystemtechnik; Begriffe und Definitionen.