E DIN IEC 62047-10:2010-05

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micropillar compression test for MEMS materials.

NORM herausgegeben am 1.5.2010

Englisch und Deutsch -
Elektronische PDF (67.90 EUR)

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-10:2010-05
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2010
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes E DIN IEC 62047-10:2010-05 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.