E DIN IEC 62047-11:2010-06

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for linear thermal expansion coefficients of MEMS materials.

NORM herausgegeben am 1.6.2010

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-11:2010-06
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.6.2010
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes E DIN IEC 62047-11:2010-06 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.