Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: A method for fatigue testing thin film materials using the resonant vibration of a MEMS structure.
NORM herausgegeben am 1.5.2010
Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-12:2010-05
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2010
Zahl der Seiten: 46
Gewicht ca.: 138 g (0.30 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.