Microelectromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials.
NORM herausgegeben am 1.8.2004
Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-2:2004-08
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.8.2004
Zahl der Seiten: 22
Gewicht ca.: 66 g (0.15 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen.